SEMICON Japan 2019

インテグリスは、半導体業界の中心的な展示会であるSEMICON Japan 2019に出展します。ご希望により展示に使用したインテグリスの革新的で高度なソリューションの詳細がご覧いただけます。

3D NAND の材料と集積化  (3D NAND Materials & Integration)

96 層を超える:3D NAND 材料と集積化の課題 (日本語)

材料とプロセスの集積化を改善すれば、増え続ける記憶デ バイスのニーズに応える歩留まりの高い 3D NAND 構造が 実現可能です。

 

先端のコーティング  (Advanced Coatings)

プラズマチャンバー部品をコーティングにおける3つの成功した精密工学技術 (日本語)

エッチングレートと堆積膜の電気的な完全性を維持するためのプラズマチャンバー部品のコーティングに関するピクトグラム。 先端のコーティング手法には、物理気相成長法 (PVD) 、原子層堆積法 (ALD) 、および多層ハイブリッド技術があります。

 

先端成膜材料 (Advanced Deposition Materials)

インテグリスの先端成膜材料のイノベーション (日本語)

インテグリスが、業界をリードする特殊配合薬品、CMPパッドコンディショナー、CMP後洗浄ブラシの開発において、総合的なアプローチを使用して高度な技術的課題をどのように解決しているかを説明するピクトグラム。

 

完璧なパターンの追求 (日本語) (Chasing the Perfect Pattern)

リソグラフィプロセス全体に影響する欠陥、その原因、その対処法など完璧なパターンの追求においてばらつきを排除する方法を示したピクトグラム

 

「リソグラフィー担当者向けツールキット」を使ったろ過の事実と誤解 (日本語) (Filtration Facts and Fiction Using the "Lithographer's Toolkit)

ろ過の事実と誤解を分類し、フォトリソグラフィープロセスのパフォーマンスを低下させるばらつきを減らすための最適なソリューションを選択するために「リソグラフィー担当者向けツールキット」を使う方法を説明したピクトグラム。

 

高純度薬液の供給 (Clean Chemical Delivery)

清浄性と安全性:安全でクリーンな薬液供給を実現する適切なドラムと接続システムの選び方 (日本語)

半導体製造における材料清浄度の要件は、ますます厳しくなっており、薬液メーカーへの 負担が増大しています。薬液は、特に保管中や輸送中に汚染の影響を受けやすいため、 インテグリスの保管/輸送用ドラムと接続システムは、薬液を出荷時と同じ清浄な状態で 供給できるように設計されています。

 

一貫したガス精製 (End to End Gas Purity)

プロセスガス精製の重要性の高まり (日本語) (The Growing Importance of Process Gas Purification)

形状的に複雑化する半導体デバイスの製造におけるプロセスガス精製の重要性の高まりのピクトグラム。 先端のガス精製で供給ガス中の複数の微量不純物を除去し、不純物のレベルを下げ、メンテナンスサイクルを維持するかを説明しています。

ガスのろ過  (Gas Filtration)

隠れている問題 (Hiding in Plain Sight)

半導体工場において解決すべき問題の 1 つとして汚染されたウェーハが挙げられ、これは、ウェーハの歩留まりとデバイズ性能に大きな影響を与えます。このようなケースでは、ガス供給システムで性能が低下したガスフィルターを使用していることがその原因の1つとして考えられます。欠陥を減少させるためにガスのろ過について説明したピクトグラム。


先端の EUV リソグラフィー
(EUV Advanced Lithography)

極端紫外線 (EUV) 用レチクルの保護と搬送 (日本語) (Protecting and Transporting Extreme Ultraviolet (EUV) Reticles)

輸送および繰り返し行われるリソグラフィのパターン形成、検査、および洗浄についてのピクトグラム。EUV レチクルポッドが、レチクルのライフサイクル全体を通して、超清浄で安全な保管と構造の完全性をどのように保証するかを説明しています。

 

高純度薬液の供給:ガラスの代替 (Clean Chemical Delivery: Glass Alternatives)

ガラスにおける課題:ガラスボトルに代わる安全な容器 (日本語) Challenges with Glass: A Safe Alternative to Glass Bottles 

半導体製造での薬液の輸送と保管において、ナウパック (NOWPak®) ライナーベース ボトルシステムは、ガラスボトルに代わる安全で費用対効果の高い容器であることを説明したピクトグラム。

 

無事故というイノベーション (Innovation is No Accident)

インテグリスは、Safe DeliverySource® (SDS®) やVacuum ActuatedCylinder® (VAC®) 技術など、革新的な負圧でのガス供給ソリューションのメーカーです。

 

清浄性と安全性:安全でクリーンな薬液供給を実現する適切なドラムと接続システムの選び方 (Purity and Safety: How to Select the Right Container System for Safe, Clean Chemical Delivery )

半導体製造における材料清浄度の要件は、ますます厳しくなっており、薬液メーカーへの負担が増大しています。このピクトグラムでは、特に保管中や輸送中に汚染の影響を受けやすい薬液を、インテグリスの保管/輸送用ドラムと接続システムが、如何に出荷時と同じ清浄な状態で薬液を供給できるかを説明しています。

 

一貫したウェーハハンドリングのソリューション (Beginning-to-End Wafer Handling Solutions)

インテグリスは、人の介入を最小限に抑えた一貫したウェーハハンドリングのソリューションを提供します。このピクトグラムは、それぞれの搬送容器が、半導体製造工程全体を通してウェーハの安全性、セキュリティ、純度を保護するように設計されていることを説明しています。